Meiao Mətbəx və Hamam PVD prosesi ortaya çıxdı
2024-03-21
PVD (Fiziki Buxar Döşəmə) Texnologiyası, bakuum şəraiti altında həyata keçirilən inkişaf etmiş bir səth təmizləyici texnologiyadır, burada möhkəm və ya maye bir material mənbəyinin səthi qazı atomların, molekulların və ya səthə qoyulan ionlara fiziki olaraq bulandırılmışdır Xüsusi bir funksiya olan nazik bir film meydana gətirmək üçün substrat. Texnologiya üç əsas kateqoriyaya bölünür: vakuum buxarlanma örtüyü, boşluq, tıxanma və elektrik qövsü kimi müxtəlif proses metodlarını özündə cəmləşdirən vakuum buxarlanma örtüyü və vakuum ion örtüyü.
PVD prosesində ilk addım, qazlı atomlar, molekulların və ya ionların maddi mənbəyi buxarlanma temperaturuna istiləşərək, qazı, əlli və ya tüpürməyə səbəb olan örtüklü materialın qazlaşdırılmasıdır. Bu qazlar daha sonra nazik bir film meydana gətirmək üçün bir vakuum mühitində substrat səthinə köç və yatırın. Bütün proses sadə, çirklənməyən və ekoloji cəhətdən təmizdir və film meydana gəlməsi, substrata güclü bağlama ilə vahid və sıxdır.
PVD texnologiyası aerokosmik, elektronika, optika, maşın, tikinti və digər sahələrdə geniş istifadə olunur, taxmaq üçün davamlı, korroziyaya davamlı, dekorativ, elektriklə aparan, izolyasiya, piezoelektrik, maqnit, yağlama, super keçirici və digər xüsusiyyətlər filmin. Yüksək texnologiya və inkişaf etməkdə olan sahələrin inkişafı ilə, PVD texnologiyası daim yenilik edir və çoxquş ion örtüklü və magnetron sputtering uyğun texnologiyası, böyük düzbucaqlı uzun qövs hədəf və s. Kimi bir çox yeni qabaqcıl texnologiyalardır texnologiyanın inkişafını təşviq edin.
Fabrikamız vakuum buxarlanma örtüklərinin ilk növünü istifadə edir və bu örtükün bütün prosesi aşağıda ətraflı təsvir edilmişdir.
Vakuum buxarlanma örtüyü PVD texnologiyasında ən qədim və ən çox istifadə olunan metodlardan biridir. Bu müddətdə, örtük hədəfi əvvəlcə buxarlanma temperaturu üçün qızdırılır, buxarlanmağa və maye və ya bərk səthdən çıxmasına səbəb olur. Sonradan, bu qazlı maddələr bir boşluqdakı substrat səthinə köç və nəticədə nazik bir film meydana gətirəcək.
Bu prosesə nail olmaq üçün bir buxarlanma mənbəyi, örtük materialını buxarlanma temperaturuna qədər qızdırmaq üçün istifadə olunur. Müstəqil istilik, elektron şüaları, lazer şüaları və digərləri də daxil olmaqla buxarlanma mənbələri üçün müxtəlif variantlar var. Bunlardan müqavimət buxarlanma mənbələri və elektron şüa buxarlanma mənbələri ən çox yayılmışdır. Adi buxarlanma mənbələrinə əlavə olaraq, yüksək tezlikli induksiya istilik, qövs istilik, parlaq istilik və s. Kimi xüsusi məqsədli buxarlanma mənbələri də var.
Vakuum buxarlanma örtüklərinin əsas proses axını aşağıdakı kimidir:
1. Təmizləmə və əvvəlcədən müalicə daxil olmaqla. Təmizləmə addımları, yuyucu təmizləyici, kimyəvi həlledici təmizlik, ultrasəs təmizlənməsi və ion bombardman təmizlənməsi və s.
2.Furnace Loading: Bu addım vakuum kamerasının təmizlənməsi, örtüklü askıların təmizlənməsi, habelə buxarlanma mənbəyini quraşdıran və boşaltma laboratoriyası kartını quraşdırmaq və ayırmaq daxildir.
3.Vacuum ekstraktı: Birincisi, kobud nasos, sonra 6.6 PA-dan yuxarıda aparılır, sonra diffuziya pompasının ön mərhələsi, vakuum nasosunu qorumaq üçün aktivləşdirilir və sonra diffuziya nasosu qızdırılır. Yetərincə qızdırılmasından sonra yüksək klapanı açın və vakuumu 0.006PA-nın fonda bir vakuumuna çıxarmaq üçün diffuziya pompasından istifadə edin.
4.Biring: örtüklü hissələr istənilən temperaturda qızdırılır.
5.İon bombardmanı: ion bombardmanı təxminən 10 PA-a qədər olan 0.1 PA-a qədər olan 0.1 PA-da bir vakuum səviyyəsində aparılır, mənfi yüksək gərginlikdən istifadə edərək, 1 kV-lik və ion bombardmanı 5 dəqiqə 30 dəqiqə ərzində aparılır.
6.Pre-əriyən: 1 dəqiqə 2 dəqiqəyə qədər örtüklü material və degaları əvvəlcədən əritmək üçün cərəyanı tənzimləyin.
7.Efuration Depozisiyası: Çökmə vaxtının arzu olunan sonuna qədər buxarlanma cərəyanını tənzimləyin.
8.Cooling: Yollu hissələri bir vakuum kamerasında müəyyən bir temperatura qədər sərinləyin.
9.DisCharge: Yollu hissələri çıxarıldıqdan sonra vakuum kamerasını bağlayın, vakuumu 0.1 pa qədər vurun, sonra yayılan temperatura qədər yayılmış nasosu sərinləyin və nəhayət təmir nasosunu və soyuducu suyu bağlayın.
10.Post-Baxım: Ən yaxşı palto tətbiq etmək kimi təmizləyici işlərə işləyin.
